突破高热流密度瓶颈!微通道+仿生+纳米流体技术综述

来源 | Journal of Thermal Analysis and Calorimetry
链接 | https://doi.org/10.1007/s10973-026-15285-
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微通道、仿生结构与纳米流体如何改写热管理格局?
随着微电子技术的飞速迭代,电子设备正朝着 “更小、更密、更强” 的方向突破 —— 芯片集成度不断提升,器件体积持续缩小,随之而来的却是一个棘手的问题:热 flux 密度急剧攀升。根据《国际半导体技术路线图(ITRS)》预测,未来高密度集成电子器件的热 flux 密度最高将达到 1200 W/cm²。这是什么概念?相当于在指甲盖大小的面积上,集中释放着堪比数十个家用白炽灯的热量。
然而,传统的散热方式早已 “力不从心”。无论是风冷、常规散热材料,还是普通液冷,都受限于较低的传热性能和导热系数,难以应对如此极端的散热需求。一旦热量无法及时排出,电子设备不仅会出现性能衰减、卡顿延迟,还可能因长期高温缩短使用寿命,甚至引发烧毁风险。
热管理已然成为制约微电子技术进一步发展的 “瓶颈”。从微型芯片到大型能源系统、航空航天设备,这一问题都至关重要:比如 SCO₂ 冷却微型反应堆的热调控、热管冷却反应堆的安全散热,乃至高超声速飞行中如何抑制 “热障”,都离不开高效的散热技术。
在这样的背景下,第三代冷却方案的研发迫在眉睫。而在众多探索方向中,1981 年由 Tuckerman 和 Pease 提出的微通道散热器(MCHS) 逐渐崭露头角 —— 他们设计的水冷微通道散热器,成功实现了 790 W/cm² 热 flux 下的稳定运行,证明了微通道结构在高热 flux 热管理中的巨大潜力。
更令人期待的是,随着研究的深入,科研人员不再局限于单一的微通道设计:从模仿叶脉、蜂窝、蜘蛛网的仿生结构,到能显著提升导热性能的纳米流体,再到二者与微通道的协同融合,一场围绕 “高效散热” 的技术革新正在悄然发生。这些创新技术如何突破传统散热的局限?
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成果掠影

近日,中国矿业大学齐聪团队围绕 “电子器件高效热管理” 核心需求,科研团队梳理近年研究,在微通道散热器(MCHS)优化、仿生结构创新、纳米流体应用及三者协同融合上取得关键突破,核心成果可概括为 5 点:
(1)微通道结构优化:靠形态创新平衡传热与流阻
几何改造:盾形、W 形、波浪形等非直通道设计,可扩大传热面积并诱导湍流 ——W 形通道温差降低约 10.4K,波浪形通道传热系数最高提升 794%;
内部强化:肋片、凹槽等结构能破坏流体边界层,扇形凸起使努塞尔数(Nu)提升 111.2%,多孔肋片减少 31% 流动损失;多层设计:双层通道或分流歧管结构,解决流量不均问题,温度均匀性提升 44.1% 以上,8W/cm² 热流密度下稳定控温。
(2)仿生结构:向自然 “偷师”,兼顾均匀性与低能耗
分形网络:叶脉形冷却板温度均匀性提升 29%,蜘蛛网通道减少 “流动死区”,整体性能提升 96%;
蜂窝 / 雪花形:蜂窝热虹吸结构热阻随填充率升高显著下降,雪花形通道优化流量均匀性;仿生物表面:鲨鱼皮纹理通道减阻 14.29%,仿比目鱼双鳍结构减少 19% 正向流动摩擦,同时提升临界热流密度。
(3)纳米流体:靠流体升级突破导热瓶颈
含 Al₂O₃、CuO、Fe₃O₄等纳米颗粒的基液,成传统冷却液理想替代方案:
性能优势:0.3% 质量分数的 Fe₃O₄- 水纳米流体,使微通道整体效率提升 8.63%;石墨烯基纳米流体降低冷却温度 10℃,换热系数最高升 80%;
关键特性:TiO₂- 水纳米流体在 pH=2 或 10 时导热最佳,颗粒直径<30nm 时黏度变化平缓;磁性纳米流体在 40mT 磁场下可主动调控传热。
(4)协同融合:1+1+1>3 的散热新方案
典型案例:雪花形仿生通道配 Fe₃O₄- 水纳米流体,传热随颗粒浓度提升显著;树状通道加 Al₂O₃- 水纳米流体,散热器基底温度降 39.5%;
核心优势:仿生通道降低纳米流体流阻,纳米流体放大仿生通道传热优势,综合性能系数(PEC)最高升 1.34 倍。
(5)未来方向:从被动散热到智能自适应
智能冷却:温敏水凝胶可在 460W/cm² 热流密度下精准冷却移动热点,应对突发热负荷;
AI + 优化:用遗传算法等实现传热、流阻与温度均匀性平衡,减少试错成本;绿色制造:研发环保纳米颗粒,结合 3D 打印降低仿生结构制造成本,提升纳米流体在复杂环境下的稳定性。
研究成果以“Research progress of the application of microchannels, bionic structures and nanofluids in the thermal management of electronic components” 为题,发表于《Journal of Thermal Analysis and Calorimetry》期刊。
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图文导读

图 1 微通道、仿生结构与纳米流体在电子元件热管理中的应用最新进展
注:展示三大技术方向的核心优势 —— 传统微通道通过结构设计增强传热(如提升努塞尔数 Nu)、仿生结构优化温度均匀性、纳米流体(如 Fe₂O₃-H₂O、Al₂O₃-H₂O、CuO-H₂O、石墨烯基流体等)提升传热效率,以及多结构协同作用机制。

图 2 不同流道布局的微通道模型
注:包含 8 类典型设计:a 五种微通道构型(如盾形、直形等)[32];b 横纵组合流道(横向梯形 + 纵向三角形)[33];c W 型微通道 [34];d 双 P 型微通道 [35];e 波浪形微通道 [36];f N 型微通道 [37];g 双层矩形微通道 [38];h 带分流歧管的微通道 [39];图中还标注硅基底、Pt 薄膜加热器、流体流动方向及均匀热流边界条件。

图 3 流道内部的肋片强化结构
注:展示不同类型的内部强化结构,包括多种肋片(如矩形肋、对角肋、扇形凸起)和凹槽(如扇形凹槽、三角形凹槽),标注了各结构对应的文献来源 [41,42,44-48,51,52],体现边界层扰动与传热面积扩展的设计思路。

图 4 多种结构的协同作用设计
注:呈现微通道的复合优化方案:流道与多孔介质结合、流道与肋片结合、多层复合结构(如双层带倾斜肋片通道),以及螺旋形、正弦形等复杂通道与内部结构的耦合设计,标注了各方案对应的文献来源 [53,54,56,58,61]。

图 5 水凝胶在微通道换热器中的应用
注:展示含温敏水凝胶的分形微通道结构,标注入口、出口、微柱、水凝胶单元,以及水凝胶 “溶胀(Swelling)” 与 “收缩(Deswelling)” 两种状态下的流道控制效果,体现自适应流量调节机制 [63,64]。

图 6 仿生结构的拓扑优化设计
注:呈现 8 类仿生拓扑模型:蜘蛛网型、蕨类叶脉型、蜂窝型、雪花型、肺状网络型、DNA 双螺旋型、螺旋型(蜗牛壳 / 斐波那契螺旋)、树根 / 叶脉分支型,标注冷热流体流向及各结构对应的文献来源 [70,72,77-84],体现自然结构的流场优化优势。

图 7 鱼鳞结构的性能优化设计
注:展示 6 类仿生物表面设计:a 鲨鱼皮减阻结构 [86];b 平行 / 交错鱼骨形肋片 [87];c 鲨鱼皮鳞片微通道 [88];d 仿生鱼鳞液冷板 [90];e 不同排列方式的鱼鳞状肋片 [91];f 仿比目鱼椭圆形双鳍结构 [92],标注了微结构表面、热泄漏区域等关键部位。

图 8 表面改性的性能优化设计
注:左侧呈现研究现状与挑战(如聚焦几何优化、制造复杂成本高、需深入流热机制),右侧分类展示表面改性方法:粗糙化(机械研磨、喷丸、V 型波纹粗糙化 [96]、化学蚀刻 [99]、电化学蚀刻 [98,99])、涂层技术(化学气相沉积 CVD [100,101]、离子注入 [102-104]、自组装单分子膜 SAM [105,106]、纳米涂层 [108-110]),体现表面改性对传热与减阻的提升作用。

图 9 纳米流体配置的一步法示意图
注:展示一步法制备流程,包含加热单元(使金属蒸发为蒸汽)、冷却系统(蒸汽冷凝成纳米颗粒)、收集器(收集颗粒并与基液混合)、旋转装置(保证混合均匀),体现纳米颗粒制备与基液分散同步进行的特点 [115]。

图 10 纳米流体制备的两步法示意图
注:展示两步法流程:先制备纳米颗粒,再按比例与基液、分散剂混合,经超声振动处理后形成稳定纳米流体,体现颗粒与基液 “分步制备、后期混合” 的特点,标注了纳米颗粒百分比、分散剂添加量等关键参数。

